1、用膠管與冷凝水連接，用真空膠管與真空泵相聯(lián)。
2、先將水注入加熱槽。選用純水，自來水要放置1-2天再用。
3、調(diào)正主機(jī)角度：只要松開主機(jī)和立柱連結(jié)螺釘。主機(jī)即可在0-45度之間任意傾斜。
4、接通冷凝水，接通電源220V/50Hz，與主機(jī)連接上蒸發(fā)瓶（不要放手），打開真空泵使之達(dá)一定真空度松開手。
5、調(diào)正主機(jī)高度：按壓下位于加熱槽底部的壓桿，左右調(diào)節(jié)弧度使之達(dá)到合適位置后手離壓桿即可達(dá)到所需高度。
6、打開調(diào)速開關(guān)，綠燈亮，調(diào)節(jié)其左側(cè)旁的轉(zhuǎn)速旋鈕，蒸發(fā)瓶開始轉(zhuǎn)動。打開調(diào)溫開關(guān)，綠燈亮，調(diào)節(jié)其左側(cè)旁的
調(diào)溫旋鈕，加熱槽開始自動溫控加熱，儀器進(jìn)入試運(yùn)行。溫度與真空度一到所要求的范圍，即能蒸發(fā)溶劑到接受瓶。
7、智能一體化蒸餾儀蒸發(fā)完畢，首先關(guān)閉調(diào)速開關(guān)及調(diào)溫開關(guān)，按壓下壓桿使主機(jī)上升，然后關(guān)閉真空泵，并打開冷凝器上方的放空閥，使之與大氣相通，取下蒸發(fā)瓶，蒸發(fā)過程結(jié)束。

在半導(dǎo)體制造中，使用洗滌溶液從晶片表面去除金屬和其他污染物的洗滌過程占整個工藝過程的約20%-30%。目前，洗滌溶液的更換頻率通常基于使用時間來確定的。然而，近年來，降低制造成本和減少環(huán)境影響的需求要求更有效地使用洗滌溶液。因此，有必要實(shí)時監(jiān)測污染程度。為了滿足這些需求，島津一直在研究LIBS技術(shù)，因?yàn)?/span>LIBS技術(shù)的研發(fā)可以利用島津自身廣泛的激光光學(xué)和光譜技術(shù)優(yōu)勢蒸餾法測氨氮?的具體操作方法。 LIBS是一種可以輕松同時測量多個元素的技術(shù)。當(dāng)樣品被激光照射時，它通過樣品表面的熱蒸發(fā)產(chǎn)生等離子體。該等離子體發(fā)出特征光是樣品所*的。因此，可以通過檢測所得光譜來測量元素。通過激光照射在特殊板上蒸發(fā)至干燥的樣品產(chǎn)生等離子體，然后檢測從等離子體發(fā)射的光以識別和定量樣品中包含的金屬元素。檢測限為ppm級別。該技術(shù)基于LIBS測量原理，提供世界的靈敏度水平(根據(jù)島津截至2018年7月的調(diào)查)。目前的原型機(jī)尺寸為1 m×1 m蒸餾法測氨氮的?具體操作方法，可與半導(dǎo)體晶圓清洗系統(tǒng)連接。從取樣到測量洗滌溶液的整個過程是*自動化的，并且可以在大約一分鐘內(nèi)完成12種痕量金屬組分的同時測量，例如銅、鋁和鈦。由于能夠更好地理解合適的洗滌溶液更換頻率，使得該技術(shù)的實(shí)際應(yīng)用將提供諸如提高產(chǎn)率和降低制造成本等益處。